KommunikationEtherCAT, Dezentrale Automatisierung, Leitungen
Präzise Bewegungssteuerung in der Halbleiterfertigung
Zuverlässige EtherCAT-Konnektivität für hochpräzise Anlagen für Waferhandling und Lithografie
Benefits
- Stabile Echtzeitkommunikation sorgt für gleichbleibende Bewegungsgenauigkeit über lange Betriebszeiträume
- Robuste Ethernet-Infrastruktur minimiert Signalverluste und ungeplante Ausfallzeiten
- Kompakte Anschlusstechnik ermöglicht eine höhere Funktionsdichte auf begrenztem Bauraum
Flexible Verkabelung unterstützt dynamische Bewegungsachsen ohne Einbußen bei der Netzwerkstabilität
Herausforderung
In Anlagen der Halbleiterfertigung wie Wafer-Handlingsystemen, Ätzanlagen und Lithografiemaschinen bildet EtherCAT das Rückgrat für hochpräzise Bewegungssteuerung, Sicherheitsfunktionen und Prozessüberwachung. Hohe Datenintegrität, deterministische Echtzeitkommunikation und flexible Netzwerktopologien sind unverzichtbar, um eine Positioniergenauigkeit im Submikrometerbereich zu erreichen und zugleich das Maschinenlayout kompakt und wartungsfreundlich zu halten.
Lösung
TURCK bietet ein komplettes Portfolio an industrieller Ethernet- und EtherCAT-Konnektivität, das speziell für leistungsstarke und platzkritische Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Hochwertige industrielle Kabelkonfektionen mit definierten elektrischen Eigenschaften gewährleisten die Einhaltung der IEEE-Standards und eine stabile Signalintegrität bei hohen Taktraten. Robuste Kabelmäntel und Steckverbinderdesigns widerstehen Chemikalien und UV-Einstrahlung, während kompakte RJ45-Steckverbinder mit niedriger Bauhöhe eine zuverlässige Installation in I/O-Modulen mit hoher Packungsdichte ermöglichen. Flexible und hochflexible Kabelvarianten erlauben eine einfache Verlegung in beengten Anlagenarchitekturen und unterstützen verschiedene EtherCAT-Topologien, um den Verkabelungsaufwand zu reduzieren.
„Die industriellen Anschlusslösungen von TURCK vereinen Signalintegrität, Robustheit und kompaktes Design, um den anspruchsvollen Anforderungen von Halbleiteranlagen gerecht zu werden.“
Heidi Drumm | Vertical Sales Director | Turck Inc.
