Füllstandsmessung für Flüssigkeitszufuhrsysteme

Herausforderung

Flüssigkeitsversorgungssysteme in FMCS (Facility Monitoring and Control Systems) von Halbleiterfabriken arbeiten mit hochentzündlichen Chemikalien wie Isopropanol und Aceton und sind daher als explosionsgefährdete Bereiche der Zone 0 oder Zone 1 eingestuft. Die Füllstandsmessung muss strenge Anforderungen an die Eigensicherheit erfüllen und gleichzeitig unter anspruchsvollen Prozessbedingungen zuverlässig funktionieren. Luftblasen, chemische Kristallisation und sich ändernde Medieneigenschaften können zu falschen Schaltpunkten und instabilen Signalen führen. Gleichzeitig sind die Sensoren aggressiven Chemikalien, Feuchtigkeit und häufigen Spülungen ausgesetzt. Begrenzter Einbauraum und zeitaufwändige Kalibrierung vor Ort erhöhen den Inbetriebnahmeaufwand und die Komplexität der Wartung zusätzlich.

Lösung

Die eigensicheren kapazitiven Sensoren von TURCK bieten in Kombination mit dem Schnittstellenmodul IMX21 eine zuverlässige Lösung für die Füllstandsmessung in FMCS-Flüssigkeitsversorgungssystemen der Halbleiterindustrie. Die Sensoren vom Typ „ “ sind für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen der Zone 0 und Zone 1 nach Ex ia IIC T6 Ga zertifiziert und begrenzen die elektrische Energie direkt am Messpunkt, um Zündrisiken auszuschließen. Das IMX21-Interface gewährleistet eine sichere Signalisolierung und die zuverlässige Übertragung von Schaltsignalen aus dem Ex-Bereich an das Steuerungssystem und ermöglicht so eine nahtlose Integration in FMCS-Architekturen.
Das robuste Gehäusedesign der Sensoren bietet eine hohe Beständigkeit gegen aggressive Chemikalien und gewährleistet zusammen mit der Schutzart IP67 einen stabilen Betrieb in feuchten und stark spülintensiven Umgebungen. Die Gewindemontage ermöglicht eine unkomplizierte Installation in kompakten Rohrleitungssystemen, während die mechanische Einstellung über ein Potentiometer eine präzise und wiederholbare Konfiguration der Schaltpunkte ohne komplexe Kalibrierungsverfahren ermöglicht. Diese Kombination reduziert den Inbetriebnahmeaufwand, erhöht die Messsicherheit und unterstützt den langfristigen, sicheren Betrieb kritischer Chemikalienversorgungsprozesse.