
Überwachung von Kühlkreisläufen in Siliziumöfen
IO-Link-Lösung für Kühlkreisläufe stellt in Kristallzüchtungsöfen einen stabilen Anlagenbetrieb sicher. Ein gleichmäßiges thermisches Feld im Inneren sorgt für die hochwertige Kristallzüchtung

Ihre Vorteile
- Stabile und störungsfreie Erfassung von Prozessdaten der Kühlkreisläufe Früherkennung sich anbahnender Störungen durch kontinuierliche Sensordiagnose
- Reduzierter Wartungsaufwand durch Fernparametrierung und Plug-and-Play-Austausch
- Erhöhte Ofenverfügbarkeit während langer, unterbrechungsfreier Produktionszyklen
Zuverlässiger Betrieb in rauen thermischen und chemischen Umgebungen
Herausforderung
Die Temperatur und der Druck von Flüssigkeiten in Kühlkreisläufen von Kristallzüchtungsöfen sind starken elektromagnetischen Störungen durch Pumpen und Wechselrichter ausgesetzt. Klassische analoge 4–20-mA-Signale sind anfällig für Rauschen, Signalabweichungen und unzuverlässige Daten. Diese herkömmlichen Sensoren liefern keinen Einblick in den Gerätestatus, was eine frühzeitige Erkennung von Durchfluss- oder Temperaturabweichungen verhindert. Da Öfen tage- und wochenlang ununterbrochen laufen, können Ausfälle in Verbindung mit der schwierigen Wartung vor Ort zu Ausfallzeiten und erheblichen Materialverlusten in den heißen, feuchten Umgebungen führen.
Lösung
Die IO-Link-fähigen Temperatur- und Durchflusssensoren TS+ und FS+ von TURCK bieten in Kombination mit dem IO-Link-Master TBEN-L eine zuverlässige digitale Kommunikation für die Überwachung von Kühlkreisläufen in Kristallzüchtungsöfen. Durch den Ersatz analoger Signale durch störungsfreie IO-Link-Kommunikation werden Prozesswerte und Gerätediagnosen zuverlässig an das Leitsystem übertragen. Integrierte Sensordiagnosen ermöglichen die frühzeitige Erkennung von Durchfluss- oder Temperaturabweichungen, während die zentralisierte Parametrierung eine Konfiguration und einen Austausch ohne Eingriff vor Ort ermöglicht. Robuste Sensorgehäuse und hochgeschützte IO-Link-Master gewährleisten einen zuverlässigen Langzeitbetrieb in korrosiven und feuchten Umgebungen.

„Die IO-Link-Lösung von TURCK überwindet Störungen, ermöglicht vorausschauende Wartung und gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb in Kristallzüchtungsöfen.“
Peng Wang | Vertical Markets | TURCK (Tianjin) Sensor Co., Ltd.
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Temperatursensoren


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